线性滑轨的精度可分为行走平行度、高度(H)及宽度( W 1 )的尺寸容许误差。滑轨单轴使用或在同一平面使用复数轴线性滑轨时，规范各个滑块组合高度与宽度的成对相互差。各型号的精度分为普通级(C)、高级(H)、精密级(P)、超精密级(SP)与超高精密级(UP)五个等级。同一平面上有2轴线性滑轨以上配对使用时，宽度(W 1 )的尺对容许误差与成对相互差(ΔW 1 )只适用于基准轴。另精度测定值是以滑块中心点或中心部的平均值为基准。
